 | RGH20F UHV 진공 호환형 로터리(앵글) 엔코더RGH20F UHV 앵글 엔코더 판독 헤드는 Renishaw의 RESR 링과 호환되며, 초고진공 상태에서 매우 정확한 직접 위치 피드백을 제공합니다. 전세계 반도체 및 과학 장비 분야에서 수년 간 사용되면서 그 성능을 입증하고 있습니다.
REF 인터페이스와 호환
장기적 안정성과 성능 개선을 위해 RGB 및 RGF 시리즈를 RoHS 준수 REF 인터페이스로 교체하여 동적 신호 조정 기능과 0.05 arc sec 분해능을 지원합니다. RGH20F UHV 판독 헤드는 특히 낮은 탈가스 속도용으로 선택된 소재와 접착제를 사용하여 전용 청정 환경에서 제조되었습니다. 그런 후 제품 청결 상태가 유지되도록 진공 호환 백에 포장되어 밀봉됩니다. Renishaw의 RESR 로터리 링RESR 링은 코팅하지 않고 모놀리식 300 시리즈 스테인리스 강철로 제작합니다. 즉, 필요하면 전문적인 세척과 오일 제거 작업을 수행해야 할 수 있습니다. 링은 대형 관통 구멍이 있고 단면적이 작아 설계가 간편하며 질량과 관성이 최소화됩니다. 다양한 온도 범위에서의 뛰어난 안정성과 함께 간단한 미세 조정 방법을 제공하는 Renishaw의 특허 기술인 테이퍼 마운트 또한 이 링의 특징 중 하나입니다. UHV 분야용 RESR 링은 52 ~ 550 mm 범위의 다양한 직경, 사용자 지정 치수, 요청 시 표준 치수보다 큰 직경에까지 널리 사용할 수 있습니다. 잔류 가스 분석(RGA) 테스트 결과전체 시스템은 독자적인 잔류 가스 분석(RGA) 테스트를 통해 청정 진공 상태에서 사용하기에 적합한 것으로 검증되었습니다. 또한 초고진공 환경에서의 사용을 위한 120 °C 베이크 아웃에 적합합니다. 일반적인 응용 분야로는 웨이퍼 취급, 웨이퍼 검사, 과학 연구 등이 있습니다. RGH20F 판독 헤드에 대한 RGA 스펙트럼 결과
확대하려면 그래프를 클릭하십시오 RESR 링에 대한 RGA 스펙트럼 결과
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RGH20F UHV 로터리(앵글) 엔코더 판독 헤드는 RESR 링과 호환되며, 초고진공 상태에서 매우 정확한 직접 위치 피드백을 제공합니다. 해당 분야에서 수년 간 사용으로 입증된 RGH20F UHV는 뛰어난 성능과 안정성이 요구되는 전세계 반도체 및 과학 장비에 장착됩니다.
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