RGH25F UHV 진공 호환형 리니어 엔코더

RGH25F UHV 리니어 엔코더 판독 헤드는 Renishaw의 RGS20-S 테이프 스케일과 호환되며, 초고진공 상태에서 매우 정확한 직접 위치 피드백을 제공합니다. 해당 분야에서 수년 간 사용으로 입증된 RGH25F UHV는 뛰어난 성능과 안정성이 요구되는 전세계 반도체 및 과학 장비에 장착됩니다.

REF 인터페이스와 호환

장기적 안정성과 성능 개선을 위해 RGB 및 RGF 시리즈를 RoHS 준수 REF 인터페이스로 교체하여 동적 신호 조정 기능과 5 nm 분해능을 지원합니다.

RGH25F UHV 판독 헤드는 특히 낮은 탈가스 속도용으로 선택된 소재와 접착제를 사용하여 전용 청정 환경에서 제조되었습니다. 그런 후 제품 청결 상태가 유지되도록 진공 호환 백에 포장되어 밀봉됩니다.

진공 호환형 테이프 스케일

RGS20-S 테이프 스케일은 Invar®, Zerodur®, 스테인리스 강철 및 알루미늄을 포함하여 반도체와 과학 산업에 널리 사용되는 대부분의 일반 엔지니어링 소재에 장착할 수 있는 뛰어난 반복정도를 지원하는 측정 표준입니다. 권장하는 에폭시를 사용하여 스케일의 양끝을 모재에 고정하면, 스케일의 열팽창 계수가 모재와 일치하게 되므로 모재 자체에 눈금이 있는 것처럼 동작합니다.

잔류 가스 분석(RGA) 테스트 결과

전체 시스템은 독자적인 잔류 가스 분석(RGA) 테스트를 통해 청정 진공 상태에서 사용하기에 적합한 것으로 검증되었습니다. 또한 초고진공 환경에서의 사용을 위한 120 °C 베이크 아웃에 적합합니다. 일반적인 응용 분야로는 웨이퍼 취급, 웨이퍼 검사, 과학 연구 등이 있습니다.

RGH20F 판독 헤드에 대한 RGA 스펙트럼 결과

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RGS 리니어 골드 테이프 스케일에 대한 RGA 스펙트럼 결과

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Invar®는 Arcelor Mittal의 등록 상표입니다
Zerodur®는 Schott AG의 등록 상표입니다