TONiC™ UHV 진공 호환형 리니어 엔코더

TONiC UHV 리니어 엔코더 판독 헤드는 RELM Invar® 및 RSLM 스테인리스 강철 스파 스케일을 포함하여 IN-TRAC™ 옵티컬 레퍼런스 마크가 있는 Renishaw의 고정밀 리니어 스케일과 호환됩니다. 이러한 엔코더 시스템은 초고진공 상태에서 매우 정확한 위치 피드백을 제공합니다. 2010년 2사분기부터 공급되는 TONiC UHV 리니어 엔코더는 우수한 성능과 안정성을 요구되는 반도체 및 과학 분야용으로 설계되었습니다.

고성능 TONiC 증분형 판독 헤드

모든 TONiC 판독 헤드에는 극도로 낮은 노이즈에 맞게 최적화된 최신 Renishaw 필터링 옵틱이 사용됩니다. 자동 게인 컨트롤(AGC) 및 자동 오프셋 컨트롤(AOC)을 포함한 동적 신호 조정으로 고급 옵틱 설계가 한결 수월해졌습니다. 그 결과 ±30 nm SDE, 0.51 nm RMS 노이즈(지터), 1 nm 분해능을 제공하는 순도 높은 출력 신호가 생성됩니다.

모든 TONiC 스케일에는 증분 채널에 직접 삽입된 고유 IN-TRAC 옵티컬 레퍼런스 마크가 포함되어 있어, 원격으로 실행할 수 있는 버튼 기능으로 간편하게 자동 전자 위상 조절이 가능합니다. IN-TRAC 레퍼런스 마크는 또한 모든 속도, 전체 작동 온도 범위에서 계속 위상이 조절된다는 이점도 있습니다.

고정밀 진공 호환형 스케일

RELM Invar 스파는 1130 mm 길이까지 "0"의 열팽창 계수와 ±1 µm 이상의 총 정확도를 보장합니다. RSLM 스테인리스 강철 스케일은 현재 10 m 길이까지 지원되는 테이프 스케일의 장점과 더불어 매우 높은 정확도를 지원하므로 정확한 계측이 요구되는 장축에 특히 적합합니다.

TONiC UHV 판독 헤드는 특히 낮은 탈가스 속도용으로 선택된 소재와 접착제를 사용하여 전용 청정 환경에서 제조되었습니다. 그런 후 제품 청결 상태가 유지되도록 진공 호환 백에 포장되어 밀봉됩니다.

잔류 가스 분석(RGA) 테스트 결과

전체 시스템은 독자적인 잔류 가스 분석(RGA) 테스트를 통해 청정 진공 상태에서 사용하기에 적합한 것으로 검증되었습니다. 또한 초고진공 환경에서의 사용을 위한 120 °C 베이크 아웃에 적합합니다. 일반적인 응용 분야로는 웨이퍼 취급, 웨이퍼 검사, 과학 연구 등이 있습니다.

TONiC 초고진공(UHV) 판독 헤드에 대한 RGA 스펙트럼 결과

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임시 테스트 결과: 이 RGA 스펙트럼은 케이블을 장착하지 않은 TONiC UHV 판독 헤드를 나타냅니다. 이 파일은 UHV 호환 케이블을 장착한 TONiC 판독 헤드용 RGA 스펙트럼이 포함되도록 제품 출시 전에 업데이트됩니다.

중요! TONiC 인터페이스는 UHV 환경 외부에 배치해야 합니다.

RSLM 스테인리스 강철 리니어 스케일에 대한 RGA 스펙트럼 결과

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시스템 기본 압력 3 x 10-10 mbar.
스펙트럼에는 주로 H20와 CO, CO2 및 C가 나타납니다. 탄소 산물은 대개 H20가 잔류하는 가운데 RGA 및 이온 게이지의 고온 필라멘트에서 비롯됩니다.
순도 높은 스펙트럼입니다.

Invar®는 Arcelor Mittal의 등록 상표입니다

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오프라인 엔코더 제품 구성 프로그램