TONiC™ UHV 진공 호환형 로터리(앵글) 엔코더

TONiC UHV 앵글 엔코더 판독 헤드는 RESM 및 REXM 초고정밀 링을 포함하여 IN-TRAC™ 옵티컬 레퍼런스 마크가 있는 Renishaw의 정밀 눈금 로터리 스케일과 호환됩니다. 이러한 엔코더 시스템은 초고진공 상태에서 매우 정확한 위치 피드백을 제공합니다. 2010년 2사분기부터 공급되는 TONiC UHV 앵글 엔코더는 우수한 성능과 안정성을 요구되는 반도체 및 과학 분야용으로 설계되었습니다.

고성능 TONiC 증분형 판독 헤드

모든 TONiC 판독 헤드에는 극도로 낮은 노이즈에 맞게 최적화된 최신 Renishaw 필터링 옵틱이 사용됩니다. 자동 게인 컨트롤(AGC) 및 자동 오프셋 컨트롤(AOC)을 포함한 동적 신호 조정으로 고급 옵틱 설계가 한결 수월해졌습니다. 그 결과 ±30 nm SDE, 0.51 nm RMS 노이즈(지터), 0.00075 arc sec 분해능을 제공하는 순도 높은 출력 신호가 생성됩니다.

모든 TONiC 스케일에는 증분 채널에 직접 삽입된 고유 IN-TRAC 옵티컬 레퍼런스 마크가 포함되어 있어, 원격으로 실행할 수 있는 버튼 기능으로 간편하게 자동 전자 위상 조절이 가능합니다. IN-TRAC 레퍼런스 마크는 또한 모든 속도, 전체 작동 온도 범위에서 계속 위상이 조절된다는 이점도 있습니다.

고정밀 모놀리식 스테인리스 강철 링

RESM 링은 코팅하지 않고 모놀리식 300 시리즈 스테인리스 강철로 제작합니다. 즉, 필요하면 전문적인 세척과 오일 제거 작업을 수행해야 할 수 있습니다. 링은 대형 관통 구멍이 있고 단면적이 작아 설계가 간편하며 질량과 관성이 최소화됩니다. 다양한 온도 범위에서의 뛰어난 안정성과 함께 간단한 미세 조정 방법을 제공하는 Renishaw의 특허 기술인 테이퍼 마운트 또한 이 링의 특징 중 하나입니다. UHV 분야용 RESM 링은 52 ~ 550 mm 범위의 다양한 직경, 사용자 지정 치수, 요청 시 표준 치수보다 큰 직경에까지 널리 사용할 수 있습니다.

최고 성능의 축을 지원하기 위해 TONiC UHV는 REXM 초고정밀 링과도 호환됩니다. 이중 판독 헤드와 함께 사용할 때, 100 mm 이상 직경의 REXM 링의 총 설치 정확도는 ±1 arc sec를 넘습니다. 보조 판독 헤드 추가 작업이 쉬워졌고, 증분형 채널과 레퍼런스 마크 신호의 조합을 처리하는 DSi 이중 신호 인터페이스 덕분에 출력이 하나의 고정밀 엔코더 입력으로써 컨트롤러에 나타납니다.

TONiC UHV 판독 헤드는 특히 낮은 탈가스 속도용으로 선택된 소재와 접착제를 사용하여 전용 청정 환경에서 제조되었습니다. 그런 후 제품 청결 상태가 유지되도록 진공 호환 백에 포장되어 밀봉됩니다.

잔류 가스 분석(RGA) 테스트 결과

전체 시스템은 독자적인 잔류 가스 분석(RGA) 테스트를 통해 청정 진공 상태에서 사용하기에 적합한 것으로 검증되었습니다. 또한 초고진공 환경에서의 사용을 위한 120 °C 베이크 아웃에 적합합니다.

일반적인 응용 분야로는 웨이퍼 취급, 웨이퍼 검사, 과학 연구 등이 있습니다.

TONiC 초고진공(UHV) 판독 헤드에 대한 RGA 스펙트럼 결과

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임시 테스트 결과: 이 RGA 스펙트럼은 케이블을 장착하지 않은 TONiC UHV 판독 헤드를 나타냅니다. 이 파일은 UHV 호환 케이블을 장착한 TONiC 판독 헤드용 RGA 스펙트럼이 포함되도록 제품 출시 전에 업데이트됩니다.

중요! TONiC 인터페이스는 UHV 환경 외부에 배치해야 합니다.

RESR 로터리 링에 대한 RGA 스펙트럼 결과(물리적으로 RESM 링과 동일함)

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IN-TRAC 레퍼런스 마크 특성을 제외하고 RESR 및 RESM 링은 동일합니다. 이 특성은 스테인리스 강철에 직접 새겨지는 눈금이므로 잔류 가스 분석(RGA) 스펙트럼에 영향을 주지 않습니다.

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오프라인 엔코더 제품 구성 프로그램