VIONiC™ 엔코더 시리즈
VIONiC 엔코더 시리즈는 Renishaw 최고의 성능을 자랑하는 증분형 옵티컬 엔코더입니다. 뛰어난 계측 성능, 빠른 작동 속도, 탁월한 신뢰성으로 직접적인 디지털 위치 피드백을 제공합니다. VIONiC 판독 헤드는 시장의 입증을 받은 Renishaw의 필터링 옵틱과 첨단 보간 기술을 통합하고 있습니다. 따라서 초저 보간 오차(SDE), 뛰어난 내분진성, 추가 어댑터나 별도 인터페이스가 필요하지 않다는 점 등 다양한 이점이 있습니다.
또한 VIONiC 판독 헤드는 팽창률이 낮은 ZeroMet™ 스케일부터 높은 정확도의 REXM 링까지, 광범위한 리니어, 부분 원호 및 로터리 스케일과 호환됩니다. 따라서 다목적성과 탁월한 계측 성능을 갖춘 엔코더가 바로 VIONiC 시리즈입니다.
매우 낮은 보간 오차(SDE)
VIONiC 엔코더는 탁월한 계측 성능을 위해 시장에서 성능을 입증받은 Renishaw 필터링 옵틱을 내장하고 있습니다. 첨단 보간 기술이 ±15 nm의 초저 보간 오차(SDE)를 지원하는데, 이는 전체 Renishaw 옵티컬 엔코더 중 최저 수준입니다.
정밀 분해능으로 고속 작동
VIONiC 판독 헤드에는 지능형 보간 칩이 내장되어 2.5 nm 수준의 정밀 분해능을 제공함으로써 어떠한 분야에서도 높은 정밀도와 반복정도를 지원합니다. VIONiC 엔코더는 최대 클럭 속도 50 MHz로 작동할 수 있고, 가능한 최대 작동 속도는 12 m/s입니다. 0.1 μm 분해능에서 가능한 최대 속도는 3.63 m/s이므로 반도체 제조 공정에서 처리량을 극대화하는 데 이상적입니다.
고급 진단 도구
VIONiC 엔코더는 또한 직관적인 자동 캘리브레이션 모드로 설계되어 설치하기 간편합니다. 고급 진단 도구 ADTi-100 옵션을 선택하면 설치 중 또는 현장 진단 시 엔코더 데이터 피드백을 실시간으로 받을 수 있습니다.
VIONiC 스케일 옵션 찾기
리니어
스케일 유형 | 스케일 명칭 | 정확도 | 스케일 피치 | 열팽창 계수(20 °C 조건) | 스케일 최대 길이 |
트랙 옵션이 제공된 스테인리스 강철 테이프
| ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 최대 10 m(요청 시 10 m 이상 제공) | |
폭이 좁은스테인리스 강철 테이프 스케일
| ±5 µm/m | 20 µm | 스케일 종단이 엔드 클립으로 고정될 때 모재에 일치되는 방식 | 최대 20 m(요청 시 20 m 이상 제공) | |
ZeroMet 스파
| RELM/RELE | 최대 1 m에 대해 ±1 µm, 즉 ±1 µm/m | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 최대 1.5 m |
스테인리스 강철 스파
| ±1.5 µm(최대 1 m), ±2.25 µm(최대 2 m), ±3 µm(최대 3 m), ±4 µm(최대 5 m) | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 최대 5 m |
부분 원호
스케일 유형 | 스케일 명칭 | 정확도 | 스케일 피치 | 열팽창 계수(20 °C에서) | 제공되는 길이 |
폭이 좁은 스테인리스 강철 부분 원호 테이프
| ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 μm/m/°C | 최대 20 m(요청 시 20 m 이상 제공) |
회전
스케일 유형 | 스케일 명칭 | 정확도(링 직경에 따라 결정됨) | 스케일 피치 | 열팽창 계수(20 °C 조건) | 링 직경 |
스테인리스 강철 링  | Graduation 정확도: ±3.97 ~ ±0.38 arc sec | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 ~ 550 mm | |
초고정밀 스테인리스 강철 링  | REXM20/REXT20 | 설치 정확도: (≥ 100 mm 직경) ±1 arc sec | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 ~ 417 mm |
선택적 고급 진단 도구 ADTi-100
VIONiC 엔코더 시스템은 고급 진단 도구 ADTi-100 및 ADT View 소프트웨어와 호환 가능합니다. 이들은 포괄적인 실시간 엔코더 데이터 피드백을 제공하여 보다 까다로운 설치와 진단을 지원합니다. 이해하기 쉬운 소프트웨어 인터페이스는 다음과 같은 곳에 사용할 수 있습니다.
- 원격 캘리브레이션
- 전체 축 길이를 따른 신호 최적화
- 판독 헤드 피치 표시
- 리미트 및 레퍼런스 마크 표시
- 엔코더 위치의 디지털 판독(스케일에 상대적)
- 시간 그래프에 대한 속도 모니터링
- 데이터 내보내기 및 저장
주요 기능
속도
| 클럭킹 출력 옵션(MHz) | 최대 속도(m/s) | 최소 끝단 분리* (ns) | |||||||||||
| D (5 μm) | X (1 μm) | Z (0.5 μm) | W (0.2 μm) | Y (0.1 μm) | H (50 nm) | M (40 nm) | P (25 nm) | I (20 nm) | O (10 nm) | Q (5 nm) | R (2.5 nm) | ||
| 50 | 12 | 12 | 12 | 7.25 | 3.63 | 1.81 | 1.45 | 0.906 | 0.725 | 0.363 | 0.181 | 0.091 | 25.3 |
| 40 | 12 | 12 | 12 | 5.80 | 2.90 | 1.45 | 1.16 | 0.725 | 0.580 | 0.290 | 0.145 | 0.073 | 31.8 |
| 25 | 12 | 12 | 9.06 | 3.63 | 1.81 | 0.906 | 0.725 | 0.453 | 0.363 | 0.181 | 0.091 | 0.045 | 51.2 |
| 20 | 12 | 12 | 8.06 | 3.22 | 1.61 | 0.806 | 0.645 | 0.403 | 0.322 | 0.161 | 0.081 | 0.040 | 57.7 |
| 12 | 12 | 10.36 | 5.18 | 2.07 | 1.04 | 0.518 | 0.414 | 0.259 | 0.207 | 0.104 | 0.052 | 0.026 | 90.2 |
| 10 | 12 | 8.53 | 4.27 | 1.71 | 0.850 | 0.427 | 0.341 | 0.213 | 0.171 | 0.085 | 0.043 | 0.021 | 110 |
| 08 | 12 | 6.91 | 3.45 | 1.38 | 0.690 | 0.345 | 0.276 | 0.173 | 0.138 | 0.069 | 0.035 | 0.017 | 136 |
| 06 | 12 | 5.37 | 2.69 | 1.07 | 0.540 | 0.269 | 0.215 | 0.134 | 0.107 | 0.054 | 0.027 | 0.013 | 175 |
| 04 | 12 | 3.63 | 1.81 | 0.730 | 0.360 | 0.181 | 0.145 | 0.091 | 0.073 | 0.036 | 0.018 | 0.009 | 259 |
| 01 | 4.53 | 0.910 | 0.450 | 0.180 | 0.090 | 0.045 | 0.036 | 0.023 | 0.018 | 0.009 | 0.005 | 0.002 | 1038 |
*1 m 케이블 포함 판독 헤드용
매우 낮은 보간 오차(SDE)
보간 오차 - 10 오류 사이클
X축: 판독 헤드 위치(mm)
Y축: 오류(nm)