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레이저 엔코더 인터페이스

고도 분해능 분야용으로 유연성이 높은 레이저 인터페이스

RPI30 병렬 인터페이스

RPI30은 차동 아날로그 1 Vpp sine/cosine 신호를 받아들여 4096으로 보간하고, 사용 가능한 위치 데이터 중 최고 36비트를 사용하여 병렬 형식의 출력을 제공합니다. 이중 경로 평면 미러 간섭계(PMI)와 함께 사용할 경우(정현파의 기본 기간은 보통 158 nm임) LSB(Least Significant Bit)는 최대 2 m/sec 속도에서 38.6피코미터가 됩니다.

저속에서 보간 오차(SDE)가 ±0.1 nm까지 개선될 수 있도록 활성 리사주 수정을 활성화해 레이저 엔코더 대비 AC 불일치와 DC 오프셋을 보상할 수 있습니다.

RPI30 고속 병렬 인터페이스

기능 및 이점

  • 고정확도 - 낮은 SDE 성능(± 0.1 nm)
  • 활성 SDE 수정 - 위치 측정 시 오차를 줄여줍니다.
  • 위치 데이터 - 병렬 버스를 통해 RLE에서 위치 판독으로 1 Vpp 아날로그 직각 위상을 변환합니다.
  • 활성 업데이트 - DC 오프셋 및 AC 불일치.
  • 접근의 용이성 - 원격 다운로드와 분석을 위한 진단 연결.
  • 다축 솔루션 - LVTTL(3.0 V) 호환 버스의 2축 출력 위치 및 상태.
  • 통신 프로토콜 - 36비트(2의 보수) 및 선택한 LSB 형태의 위치 데이터.
  • 라이브 상태 - 신호 세기 및 오차 플래그를 포함합니다.

사양

평면 거울 시스템
역반사 시스템
분해능38.6, 77.2, 154.4 또는 308.8 pm77.2, 154.4, 308.8 또는 617.6 pm
최대 속도2 m/s4 m/s
출력 신호36비트(2의 보수)36비트(2의 보수)
SDE* 기여(RLE 제외, 수정 비활성화)평면 거울 - PMI역반사기 - RRI
속도 < 50 mm/s(PMI)
속도 < 100 mm/s(RRI)
신호 세기 > 25%
< ±0.5 nm< ±1.0 nm
속도 > 50 mm/s 및 < 2 m/s
속도 > 100 mm/s 및 < 4 m/s
< ±2.0 nm< ±4.0 nm
*비선형 오차
SDE*(수정 기능이 활성화된 RLE 포함)평면 거울 - PMI역반사기 - RRI
속도 < 50 mm/s(PMI)
속도 < 100 mm/s(RRI)
신호 세기 > 50%
< ±0.1 nm< ±0.2 nm
*비선형 오차

RPI20 병렬 인터페이스

RPI20은 RLE 레이저 간섭계 엔코더 시스템에서 전송되는 1 Vpp 아날로그 직각 위상 신호를 변환하여 병렬 형식으로 초고분해능(4096x 보간) 위치 피드백을 제공합니다.

RoHS 준수 RPI20 병렬 인터페이스

기능 및 이점

  • 고분해능 - 아날로그 직각 위상 신호를 최대 4096x 보간 처리
  • 다축 솔루션 - 하나의 버스에서 7개 축 기능 사용 가능성
  • 고속 통신 - 6.5 MHz 미만의 입력 대역폭과 36비트 병렬 형식 출력 지원
  • 고정확도 - 낮은 SDE 성능(± 0.5 nm)

VME 시스템 아키텍처에 RPI20을 사용할 수 있도록 지원하는 이중 축 VME 호스트 보드 옵션.

사양

분해능38.6피코미터(pm)(평면 미러 시스템)
77.2 pm(반사경 시스템)
최대 속도1 m/s(평면 미러 시스템)
2 m/s(반사경 시스템)
출력 신호36비트 병렬 워드

PMI

PMI

RRI

RRI

속도

<50 mm/s

<1 m/s

<100 mm/s

<2 m/s

SDE*

0.5 nm

2 nm

1 nm

4 nm

*비선형 오차

RLI20-P 레이저 인터페이스 - Panasonic

RLI20-P는 Panasonic 컨트롤러(MINAS A5 시리즈)를 통해 Renishaw 레이저 엔코더 시스템과 접속합니다. RS485 형식으로 증분 위치 판독값으로 출력하기 전에 레이저 엔코더에서 나오는 1 Vpp 아날로그 직각 위상 신호를 사용하여 고속 보간자를 통해 출력이 전달됩니다.

RLI20-P 레이저 인터페이스 - Panasonic

기능 및 이점

  • Panasonic 기능 - Panasonic 컨트롤러(MINAS A5 시리즈)와 직접 호환
  • 고속 통신 - 고속 내부 위치 갱신 속도(100 MHz)
  • 고정확도 - 낮은 SDE 성능(± 0.5 nm)

사양

분해능1nm(평면 미러 시스템)
2 nm(반사경 시스템)
최대 속도1 m/s(평면 미러 시스템)
2 m/s(반사경 시스템)
출력 신호2.5 Mbps RS485, Panasonic
MINAS A5 시리즈 컨트롤러와 호환

PMI

PMI

RRI

RRI

속도

<50 mm/s

<1 m/s

<100 mm/s

<2 m/s

SDE*

0.5 nm

2 nm

1 nm

4 nm

*비선형 오차

RSU10 USB 인터페이스

RSU10 USB 인터페이스는 RLE 시스템에서 나오는 1 Vpp 사인/코사인 신호를 수신하고 x16,384 단위로 보간하여 USB 포트를 통해 위치 판독값을 전송합니다.

RSU10을 사용하면 Renishaw 설정 캘리브레이션 소프트웨어 패키지(LaserXLQuickViewXL)와 측정 데이터가 호환됩니다. 따라서 실시간으로 동적 측정 데이터를 확인하고 분석해야 하는 사용자에게 적합한 솔루션입니다.

최대 갱신 속도 20 Hz로 기능에 맞는 소프트웨어를 개발할 수 있는 소프트웨어 개발 키트(SDK)가 함께 제공됩니다.

RSU10 USB 인터페이스

기능 및 이점

  • 고분해능 - x16,384 보간을 통해 1 m/s 속도에서 9.64 pm의 신호 분해능을 지원합니다.
  • 유연한 소프트웨어 - 설정된 캘리브레이션 소프트웨어 패키지와 호환되며, Renishaw 소프트웨어 개발 키트의 유연성을 지원합니다.
  • 자동 데이터 캡처 - TPin 트리거 입력 기능으로 외부에서 생성되는 신호 수신을 이용하여 데이터 캡처를 수행할 수 있습니다.

사양

분해능9.64피코미터(pm)(평면 미러 시스템)
19.28 pm(반사경 시스템)
최대 속도1 m/s(평면 미러 시스템)
2 m/s(반사경 시스템)
최대 갱신 속도50 kHz(SDK를 사용할 때 최대 20 Hz)

PMI

PMI

RRI

RRI

속도

<50 mm/s

<1 m/s

<100 mm/s

<2 m/s

SDE*

3 nm

4 nm

6 nm

8 nm

*비선형 오차

제품 정보