레이저 엔코더 인터페이스
고도 분해능 분야용으로 유연성이 높은 레이저 인터페이스.
RPI30 병렬 인터페이스
RPI30은 차동 아날로그 1 Vpp sine/cosine 신호를 받아들여 4096으로 보간하고, 사용 가능한 위치 데이터 중 최고 36비트를 사용하여 병렬 형식의 출력을 제공합니다. 이중 경로 평면 미러 간섭계(PMI)와 함께 사용할 경우(정현파의 기본 기간은 보통 158 nm임) LSB(Least Significant Bit)는 최대 2 m/sec 속도에서 38.6피코미터가 됩니다.
저속에서 보간 오차(SDE)가 ±0.1 nm까지 개선될 수 있도록 활성 리사주 수정을 활성화해 레이저 엔코더 대비 AC 불일치와 DC 오프셋을 보상할 수 있습니다.
기능 및 이점
- 고정확도 - 낮은 SDE 성능(± 0.1 nm).
- 활성 SDE 수정 - 위치 측정 시 오차를 줄여줍니다.
- 위치 데이터 - 병렬 버스를 통해 RLE에서 위치 판독으로 1 Vpp 아날로그 직각 위상을 변환합니다.
- 활성 업데이트 - DC 오프셋 및 AC 불일치.
- 접근의 용이성 - 원격 다운로드와 분석을 위한 진단 연결.
- 다축 솔루션 - LVTTL(3.0 V) 호환 버스의 2축 출력 위치 및 상태.
- 통신 프로토콜 - 36비트(2의 보수) 및 선택한 LSB 형태의 위치 데이터.
- 라이브 상태 - 신호 세기 및 오차 플래그를 포함합니다.
사양
| 평면 거울 시스템 | 역반사 시스템 | |
| 분해능 | 38.6, 77.2, 154.4 또는 308.8 pm | 77.2, 154.4, 308.8 또는 617.6 pm |
| 최대 속도 | 2 m/s | 4 m/s |
| 출력 신호 | 36비트(2의 보수) | 36비트(2의 보수) |
| SDE* 기여(RLE 제외, 수정 비활성화) | 평면 거울 - PMI | 역반사기 - RRI |
| 속도 < 50 mm/s(PMI) 속도 < 100 mm/s(RRI) 신호 세기 > 25% | < ±0.5 nm | < ±1.0 nm |
| 속도 > 50 mm/s 및 < 2 m/s 속도 > 100 mm/s 및 < 4 m/s | < ±2.0 nm | < ±4.0 nm |
| SDE*(수정 기능이 활성화된 RLE 포함) | 평면 거울 - PMI | 역반사기 - RRI |
| 속도 < 50 mm/s(PMI) 속도 < 100 mm/s(RRI) 신호 세기 > 50% | < ±0.1 nm | < ±0.2 nm |
RPI20 병렬 인터페이스
RPI20은 RLE 레이저 간섭계 엔코더 시스템에서 전송되는 1 Vpp 아날로그 직각 위상 신호를 변환하여 병렬 형식으로 초고분해능(4096x 보간) 위치 피드백을 제공합니다.
기능 및 이점
- 고분해능 - 아날로그 직각 위상 신호를 최대 4096x 보간 처리.
- 다축 솔루션 - 하나의 버스에서 7개 축 기능 사용 가능성
- 고속 통신 - 6.5 MHz 미만의 입력 대역폭과 36비트 병렬 형식 출력 지원.
- 고정확도 - 낮은 SDE 성능(± 0.5 nm).
VME 시스템 아키텍처에 RPI20을 사용할 수 있도록 지원하는 이중 축 VME 호스트 보드 옵션.
사양
| 분해능 | 38.6피코미터(pm)(평면 미러 시스템) 77.2 pm(반사경 시스템) |
| 최대 속도 | 1 m/s(평면 미러 시스템) 2 m/s(반사경 시스템) |
| 출력 신호 | 36비트 병렬 워드 |
PMI | PMI | RRI | RRI | |
| 속도 | <50 mm/s | <1 m/s | <100 mm/s | <2 m/s |
| SDE* | 0.5 nm | 2 nm | 1 nm | 4 nm |
RLI20-P 레이저 인터페이스 - Panasonic
RLI20-P는 Panasonic 컨트롤러(MINAS A5 시리즈)를 통해 Renishaw 레이저 엔코더 시스템과 접속합니다. RS485 형식으로 증분 위치 판독값으로 출력하기 전에 레이저 엔코더에서 나오는 1 Vpp 아날로그 직각 위상 신호를 사용하여 고속 보간자를 통해 출력이 전달됩니다.
기능 및 이점
- Panasonic 기능 - Panasonic 컨트롤러(MINAS A5 시리즈)와 직접 호환.
- 고속 통신 - 고속 내부 위치 갱신 속도(100 MHz).
- 고정확도 - 낮은 SDE 성능(± 0.5 nm).
사양
| 분해능 | 1nm(평면 미러 시스템) 2 nm(반사경 시스템) |
| 최대 속도 | 1 m/s(평면 미러 시스템) 2 m/s(반사경 시스템) |
| 출력 신호 | 2.5 Mbps RS485, Panasonic MINAS A5 시리즈 컨트롤러와 호환 |
PMI | PMI | RRI | RRI | |
| 속도 | <50 mm/s | <1 m/s | <100 mm/s | <2 m/s |
| SDE* | 0.5 nm | 2 nm | 1 nm | 4 nm |
RSU10 USB 인터페이스
RSU10 USB 인터페이스는 RLE 시스템에서 나오는 1 Vpp 사인/코사인 신호를 수신하고 x16,384 단위로 보간하여 USB 포트를 통해 위치 판독값을 전송합니다.
RSU10을 사용하면 Renishaw 설정 캘리브레이션 소프트웨어 패키지(LaserXL 및 QuickViewXL)와 측정 데이터가 호환됩니다. 따라서 실시간으로 동적 측정 데이터를 확인하고 분석해야 하는 사용자에게 적합한 솔루션입니다.
최대 갱신 속도 20 Hz로 기능에 맞는 소프트웨어를 개발할 수 있는 소프트웨어 개발 키트(SDK)가 함께 제공됩니다.
기능 및 이점
- 고분해능 - x16,384 보간을 통해 1 m/s 속도에서 9.64 pm의 신호 분해능을 지원합니다..
- 유연한 소프트웨어 - 설정된 캘리브레이션 소프트웨어 패키지와 호환되며, Renishaw 소프트웨어 개발 키트의 유연성을 지원합니다.
- 자동 데이터 캡처 - TPin 트리거 입력 기능으로 외부에서 생성되는 신호 수신을 이용하여 데이터 캡처를 수행할 수 있습니다.
사양
| 분해능 | 9.64피코미터(pm)(평면 미러 시스템) 19.28 pm(반사경 시스템) |
| 최대 속도 | 1 m/s(평면 미러 시스템) 2 m/s(반사경 시스템) |
| 최대 갱신 속도 | 50 kHz(SDK를 사용할 때 최대 20 Hz) |
PMI | PMI | RRI | RRI | |
| 속도 | <50 mm/s | <1 m/s | <100 mm/s | <2 m/s |
| SDE* | 3 nm | 4 nm | 6 nm | 8 nm |
제품 정보
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