레이저 엔코더 용어정리

Abbe error(아베 오차)

엔코더 축이 가공 축에서 이탈할 때 아베 오차가 발생합니다. 스테이지가 상하 또는 좌우로 요동하는 경우, 공작물의 이동이 엔코더 판독값과 달라집니다. 오프셋 d, 스테이지 피치 θ로 인해 초래되는 아베 오차는 다음과 같습니다: 아베 오차 = d × sine θ.

정확도

정확도는 객체에 수행한 측정값과 실제(표적 또는 기준) 값의 합치 정도를 정량적으로 나타내는 용어입니다.

Beam splitter(광분할기)

광분할기는 광선을 두 개 이상의 요소로 쪼개는 광학 장치로, 대부분의 간섭계 시스템에서 중요한 구성품입니다.

Compensation(보정)

위치 오차를 보정하기 위해 엔코더의 위치 출력 신호를 수정하는 프로세스.

Constructive interference(보강 간섭)

위상과 주파수가 비슷한 두 광파가 결합되어 각각의 빔보다 밝기가 강한 빔이 생성될 때 보강 간섭이 일어납니다. (상쇄 간섭 참조)

Destructive interference(상쇄 간섭)

주파수는 비슷하지만 위상은 반대인 두 광파가 결합되어 가장 밝은 빔보다 세기가 약한 빔이 생성될 때 상쇄 간섭이 일어납니다. (보강 간섭 참조)

Frequency(주파수)

주파수는 단위 시간당 반복되는 사건이 발생되는 횟수를 측정한 값입니다. 두 사건의 연속적인 발생 간격(시간)을 측정한 다음, 이 시간의 역수로써 주파수를 계산하는 방식으로 주파수가 산출됩니다. 산출 결과는 헤르쯔(Hz) 단위로 측정됩니다(f = 1/T).

음파, 전자기파(예: 무선파 또는 광파), 전기 신호 또는 기타 파동의 주파수를 측정할 때, 헤르쯔 단위 주파수는 초당 반복 파형 주기의 횟수입니다. 주파수는 파장의 개념과 반비례 관계에 있습니다. 주파수 f는 파동의 속도 v를 파장 λ(lambda)로 나눈 값(f = v/λ)입니다.

Frequency stability(주파수 안정성)

레이저 주파수의 변동 측정값

In air(대기 중)

대기가 공기로 채워진 3차원 공간입니다.

Interference(간섭)

간섭은 두 개 이상의 파동이 중첩되면서 새로운 파형이 생성되는 것입니다. 가장 일반적으로 사용되는 의미로, 유발원이 동일하거나 주파수가 거의 동일하기 때문에 서로 연관 또는 협착되는 파동의 간섭을 나타냅니다. (보강 간섭 및 상쇄 간섭 참조)

Interpolation(보간)

보간은 확인된 개별 데이터 포인트 집합에서 새로운 데이터 포인트를 구성하는 방법입니다. 위치 제어 시 일반적으로 아날로그 위치 신호를 받은 후 고정 계수로 세분하여 개별 디지털 신호를 생성하는 과정이 수반됩니다.

Interpolator(보간 장치)

보간 장치는 아날로그 위치 신호를 세분한 후, 사용된 보간 계수에 근거하여 개별 디지털 카운트로 변환하는 전자 장치입니다. 예를 들어, 158 nm 주기의 아날로그 신호에 사용되는 4096 보간 장치는 38.6 피코미터 분해능의 결과를 생성합니다.

Lissajous(리사주)

리사주는 SIN 및 COS​​ 신호를 표시하는 방식으로, 삼각 대수학을 사용하여 신호를 원형으로 결합합니다. 첨단 신호 처리 방식을 사용할 때 원에서 정확한 지점의 수학적 특성은 간섭계 작동의 다양한 특성(예: 신호 강도 및 포인트 위치)을 나타냅니다.

OEM

주문자 상표 부착 방식 생산업체(OEM)는 다른 회사의 완제품에 사용되는 부품 또는 부속 시스템을 제조하는 회사입니다.

Phase(위상)

파동의 위상은 한 특성의 위치를 파형의 다른 부분에 있는 동일한 특성(또는 다른 파형에서 동일한 것에 해당하는 특성)과 연관시켜 나타냅니다. 위상은 시간, 거리, 파장의 일부분 또는 각도로 측정할 수 있습니다.

Quadrature(직각 위상)

2개의 선으로 전송되면서 각 에지 변동 시 위치를 나타내는 디지털 직렬 위치 신호를 설명하는 용어입니다. 이러한 에지 변동은 90º 위상 간격으로 일어나므로 네 번의 에지 전환에 360º 이동이 필요합니다. 따라서 4개 지점을 나타내기 위해 직각 위상이라고 합니다. 신호 출력에서 A 선과 B 선의 사용을 표시하기 위해 종종 AQuadB라고도 합니다. 이 신호는 일반적으로 RS422 AQuadB이며, 엔코더 위치 피드백에 대한 표준 직렬 프로토콜입니다. "위상 직교" 상태에 있다는 사인 및 코사인 신호를 정의하는 데에도 사용됩니다.

Refractive index(굴절률)

굴절률은 주어진 파장에 대한 공기 중 광속 대비 굴절 매체 중 광속의 비율입니다. 공기의 온도, 상대습도, 압력 등의 조건과 상관 관계가 있는 공기의 전파 속성을 나타냅니다.

분해능

엔코더의 분해능은 감지하여 적절한 수신기로 송신할 수 있는 최소한의 거리 증분입니다.

Sub-divisional error(보간 오차) (SDE):

일반적으로 리사주의 비원형도에 인해 발생되는, 누적되지 않는 오차입니다.

Vacuum(진공)

진공은 공기가 부분적으로 또는 완전히 제거된 3 차원 공간입니다. 다양한 수준의 진공도가 있습니다.

• 저도 진공 - 1 Torr ~ 1 mTorr
• 중도 진공 - 1 mTorr ~ 10 μTorr
• 고도 진공 - 1 μTorr to 10 nTorr
• 초고도 진공 - 1 nTorr 미만

조건: 1 Torr = 133.322 Pascal. 1 대기압(해수면 압력) = 101.325 KPa = 760 Torr

Wavelength(파장)

파장은 파형의 반복적인 단위 사이 거리로, 일반적으로 그리스 문자 람다(lambda, λ)로 표시합니다. 정현파에서 파장은 피크들 간 거리입니다. 파장 λ는 주어진 시간에 한 지점을 통과하는 피크 수인 주파수 f와 반비례합니다. 파형 속도를 주파수로 나눈 값이 파장입니다.