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레이저 간섭계, 구면 렌즈 품질 보장

2018년 5월 21일 월요일

구면 광학 렌즈는 우주항공 부문의 영상 시스템부터 반도체 제조 분야의 마스크 정렬까지, 다양한 고분해능 산업 및 과학 연구 분야에 매우 중요한 요소입니다.

시스템의 영상 처리 품질을 보장하기 위해서는 구면 렌즈 형상의 완벽한 정확도를 유지하는 것이 필수적이며, 렌즈 제조 과정에서의 아주 작은 오차라도 시스템 신뢰성과 성능에 큰 영향을 미치게 됩니다.

중국의 Beijing Institute of Technology(BIT)가 Renishaw의 XL-80 레이저 간섭계를 사용하여, 구면 렌즈의 모든 주요 형상 매개변수를 안정적으로 동시에 측정할 수 있는 고정밀 계측기를 개발했습니다.

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