RLD10(내장 간섭계 불포함)
독보적인 Renishaw 광섬유 전달 시스템의 간편성과 성능을 분야별 맞춤형 옵틱 구성과 결합
독보적인 다채널 프린지 검출 시스템과 레이저 셔터, 통합형 빔 유도기를 채용하면 RLD를 간편하게 전문 분야에 도입할 수 있습니다.
RLD10-XX 헤드는 0° 버전에만 사용할 수 있습니다.
기능 및 이점
- 맞춤형 옵틱 솔루션 - 내장 옵틱을 제거하면 외장 옵틱용으로 RLD를 구성하여 광범위한 분야에 적용할 수 있습니다.
- 캘리브레이션 측정 - 직진도, 앵귤러, 리니어 측정이 가능한 Renishaw 캘리브레이션 옵틱 제품군과 사용하기에 적합니다.
- 진공 호환성 - 두 기구물 사이의 상대적 측정 용도로 RVI20과도 호환됩니다.
사양
| 평면 미러 분야 | 반사경 분야 | |
| 축 이동 | 0 m ~ 1 m | 0 m ~ 4 m |
| 분해능(RLU를 사용한 구성) | 아날로그 직각 위상 = λ/4 (158 nm) 디지털 직각 위상 = 10 nm RPI20 분해능 = 38.6 pm | 아날로그 직각 위상 = λ/2 (316 nm) 디지털 직각 위상 = 20 nm RPI20 분해능 = 77.2 pm |
시스템 비선형 오차*(SDE) *인터페이스 제외 | >70% 신호 세기, 50 mm/sec 이하에서 <±2.5 nm >50% 신호 세기, 1 m/sec 이하에서 <±7.5 nm | >70% 신호 세기, 100 mm/sec 이하에서 <±5 nm >50% 신호 세기, 2 m/sec 이하에서 <±13 nm |
| 최대 속도 | 최대 1 m/sec | 최대 2 m/sec |
기타 관심 품목
