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RKLC20-S 리니어 스케일 채용 TONiC™ UHV 증분형 엔코더 시스템

특성

  • 판독 헤드 크기: 35 x 13.5 x 10 mm
  • 분해능 최저 1 nm
  • 속도 최대 10 m/s
  • 아날로그 또는 디지털 출력
  • 극히 작은 보간 오차(SDE): 일반적으로 ±30 nm 미만
  • 고객이 선택할 수 있는 옵티컬 IN-TRAC™ 레퍼런스 마크

이점

  • 초고도 진공(UHV)
  • 공간이 협소한 경우에 적합한 폭이 좁은 6 mm 너비 스케일
  • 계측 성능을 높여주는 모재 고정식 스케일
  • 동적 신호 조정 기능으로 모션 제어력을 향상시킨 극초소형 엔코더
  • 편리한 길이로 절단
  • 높은 내분진성과 솔벤트 면역성
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TONiC UHV란 무엇인가?

TONiC UHV는 Renishaw의 극초소형, 비접촉식 엔코더 시스템을 초고진공 분야에 적용한 제품으로, 고객에게 향상된 모션 제어 기능을 제공합니다.

TONiC은 리니어 및 로터리 엔코더 분야에서 Ti 인터페이스와 결합했을 때 최고 10 m/s 속도와 최저 1 nm 분해능을 지원합니다. TONiC 시스템은 셋업 공차가 크고 버튼을 누르는 방식의 캘리브레이션을 지원하여 빠르고 간편하게 설치할 수 있습니다. TONiC의 동적 신호 처리 기능이 일반적으로 ±30 nm 미만의 초저 보간 오차로 신호 안정성을 개선하므로 탁월한 모션 제어 성능을 실현할 수 있습니다.

RKLC20-S 스케일이란 무엇인가?

RKLC20-S는 20 µm 피치 증분형 눈금과 IN-TRAC 고객 선택형 레퍼런스 마크를 특징으로 하는 폭이 좁은 슬림형 스테인리스 강철 테이프 스케일입니다. 정확도는 ±5 µm/m 수준이고 최대 20 m(요청 시 >20 m) 길이로 제공됩니다. RKLC20-S는 스케일 종단이 모재에 완전히 고정된 경우 계측 성능을 높이기 위해 기계 모재에 고정됩니다.

이 엔코더 시스템을 선택해야 하는 이유는 무엇인가?

초고도 진공(UHV)

TONiC UHV 판독 헤드는 표준 TONiC의 뛰어난 성능을 취해 UHV 호환 자재와 프로세스를 사용하여 설계하고 구성한 판독 헤드로 최저 10 -10 Torr로 낮춘 UHV 조건에 적합합니다.

TONiC UHV 엔코더 및 부속품은 진공 호환성 자재와 접착제로 제작되어 낮은 방출 속도와 입증된 청정 잔류 가스 분석(RGA) 성능을 제공하므로 웨이퍼 취급/테스트, 과학 계측기, 분광기, 진공 검사 장비 등의 다양한 분야에 적합합니다.

소형 크기로 최상의 신뢰성과 성능 구현

최고의 신뢰도, 일관된 성능, 뛰어난 내분진성을 지원하기 위해 훨씬 낮은 노이즈(지터)에 맞게 조정되고 자동 게인 컨트롤 및 자동 오프셋 컨트롤을 포함한 동적 신호 처리로 더욱 향상된 3세대 필터링 옵틱을 TONiC 판독 헤드에 통합하였습니다. 모두 판독 헤드에 내장하는 방식의 통합을 통해 순도 최상의 신호와 ±30 nm 미만의 극히 작은 보간 오차(SDE)를 지원합니다. 결과적으로 더욱 원활한 속도 제어를 통한 스캐닝 성능 향상과 위치 안전성 개선이 실현됩니다. 수많은 분야에서 필수적인 변수들인 이러한 요소가 하나의 소형 판독 헤드에 모두 내장되어 있습니다.

강력한 다목적, 폭이 좁은 스케일

RKLC는 너비 6 mm의 강력한 스테인리스 강철 엔코더 테이프 스케일로, 두께는 0.15 mm입니다. 이 스케일은 기계 축에 완전히 고정되어 있을 때 열 팽창 계수 및 동작에 맞게 기계 모재에 ‘고정(마스터링)’시킬 수 있습니다. 따라서 스케일과 기계 사이의 열팽창 변위 차이가 최소화됩니다.

인덱스 위치는 자동 위상 조정이 가능하도록 증분 스케일 마크에 직접 내장되는 IN-TRAC 옵티컬 레퍼런스 마크에 의해 제공됩니다. 이 스케일은 소형으로 설계되어 있어 공간이 협소한 곳에 엔코더를 설치하기가 쉽습니다. 또한 RKLC 테이프 스케일은 ±5 µm/m의 정확도에 스테인리스 강철의 기계, 화학적 강성을 조합한 제품으로, 쉽게 감을 수 있고 ‘편리한 길이로 절단’이 가능합니다.

인터페이스 옵션

TD(이중 분해능) 인터페이스

  • 선택 가능한 이중 분해능 직각 위상 출력. Ti 인터페이스(사각형)
  • 매우 미세한 정밀 모션과 결합된 고속 이동이 필요한 분야에 이상적입니다.

DOP(이중 출력) 인터페이스

  • 동시 디지털 직각 위상 및 1 Vpp 신호를 제공합니다.
  • 하나 이상의 작업을 모션 축과 동기화해야 하는 분야에 적합합니다.TONiC DOP(듀얼 출력) 인터페이스

진단 키트 옵션

TONiC™ 진단 키트(소프트웨어 및 하드웨어)

TONiC 진단 소프트웨어는 TONiC 엔코더 설치를 최적화하는 데 사용되며, 신속하고 종합적인 시스템 캘리브레이션을 지원합니다. 이 소프트웨어는 Renishaw에서 부품 번호 A-9411-0011로 구입할 수 있는 TONiC 진단 하드웨어와 함께 사용해야 합니다. 이 하드웨어는 USB 케이블(키트에 포함)을 통해 또는 고객의 전자 제품과 직결 방식으로 PC에 연결할 수 있습니다.

TONiC 진단 키트에 대한 모든 것을 확인해보세요.

기술 사양

측정 표준

접착식 양면 테이프가 부착된 폭이 좁은 스테인리스 강철 테이프 스케일로, 모재에 직접 장착 가능

판독 헤드 크기(LxWxH)

35 mm x 13.5 mm x 10 mm

스케일 피치

20 μm

열팽창 계수

스케일 종단이 모재에 확실히 고정될 때 모재에 일치되는 방식

20 °C에서 정확도 등급

±5 μm/m

레퍼런스 마크

IN-TRAC 레퍼런스 마크는 직접 RKLC-S에 삽입됨

선택된 레퍼런스 마크를 식별하는 데 사용되는 선택기 마그넷

리미트 스위치

이중 또는 단일 리미트(주문 시 선택)

스케일 길이

최대 20 m(요청 시 20 m 이상 제공)

스케일 형태(H x W)0.15 mm x 6 mm(접착제 포함)

최대 속도

아날로그

디지털

(자세한 내용은 데이터 시트 참조)

-3 dB에서 최대 10 m/s

최대 10 m/s

보간 오차 (SDE)

일반적으로 <±30 nm

동적 신호 제어

자동 게인 컨트롤(AGC) 및 자동 오프셋 컨트롤(AOC)을 포함한 실시간 신호 조정으로 작동 중 성능 최적화

증분 신호

아날로그

디지털


1 Vpp (20 μm 주기)

5 μm ~ 1 nm 범위 분해능

전기 연결

0.5 m, 1 m, 1.5 m, 3 m, 5 m, 10 m 케이블 길이와 소형 커넥터(TONiC 인터페이스에 바로 연결)

전원 공급 장치

5 V ±10%, < 100 mA (아날로그 시스템), < 200 mA (디지털 시스템) (미종단형)

진동(작동 시)

최대 100 m/ s2 (55 Hz ~ 2 000 Hz 조건)

충격(미작동 시)

500 m/s2, 11 ms, ½ 정현파, 3축

작동 온도(시스템)

0 °C ~ +70 °C

베이크 아웃 온도(비작동 시)120 °C (판독 헤드 및 스케일에 한함)

방수 규격

판독 헤드: IP20

인터페이스: IP20

케이블 구성주석 코팅 구리 편복 단일 스크린, FEP 코어 절연

자세한 내용은 데이터 시트를 참조하십시오.