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RTLC20 리니어 스케일 채용 TONiC™ UHV 증분형 엔코더 시스템

특성

  • 판독 헤드 크기: 35 x 13.5 x 10 mm
  • 분해능 최저 1 nm
  • 속도 최대 10 m/s
  • 아날로그 또는 디지털 출력
  • 극히 작은 보간 오차(SDE): 일반적으로 ±30 nm 미만
  • 고객이 선택할 수 있는 옵티컬 IN-TRAC™ 레퍼런스 마크

이점

  • 초고도 진공(UHV)
  • 테이프 스케일 편리성과 최고 수준의 강도
  • 설치 및 교체가 빠르고 쉬운 트랙형 스케일 시스템
  • 동적 신호 조정 기능으로 모션 제어력을 향상시킨 극초소형 엔코더
  • 진단 키트
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TONiC UHV란 무엇인가?

TONiC UHV를 채용하면 Renishaw의 초소형 비접촉식 엔코더 시스템을 고객에게 향상된 모션 제어 성능을 제공하는 초고도 진공(UHV) 분야에 적용할 수 있습니다.
TONiC은 리니어 및 로터리 엔코더 분야에서 Ti 인터페이스와 결합했을 때 최고 10 m/s 속도와 최저 1 nm 분해능을 지원합니다. TONiC 시스템은 셋업 공차가 크고 버튼을 누르는 방식의 캘리브레이션을 지원하여 빠르고 간편하게 설치할 수 있습니다. TONiC의 동적 신호 처리 기능이 일반적으로 ±30 nm 미만의 초저 보간 오차로 신호 안정성을 개선하므로 탁월한 모션 제어 성능을 실현할 수 있습니다.

RTLC20 스케일이란 무엇인가?

RTLC20은 20 µm 피치 및 IN-TRAC 고객 선택형 레퍼런스 마크를 특징으로 하는 슬림형 스테인리스 강철 테이프 스케일입니다. 정확도는 ±5 µm/m 수준이고 최대 길이는 10 m(요청 시 >10 m)입니다. 장착 옵션은 두 가지이며, 모두 별도 열팽창을 허용하며 테이프 스케일의 편리성도 지원합니다.
RTLC20은 혁신적인 FASTRACK™ 스케일 운송 시스템과 함께 사용할 수 있습니다. 이 시스템을 사용하면 고정구 없이 쉽고 빠르게 트랙을 놓을 수 있습니다. 이제 소모성 스페이서를 제거하면 트랙으로 테이프 스케일이 들어갑니다.
RTLC20-S는 접착식 양면 테이프로 모재에 부착됩니다. 접착제는 모재의 것과 별도 스케일 팽창을 허용하는 방식으로 제작됩니다.
설치를 완료하려면 두 가지 종류의 스케일을 한 지점에서 결속하여 데이텀 위치를 제공해야 합니다.

이 엔코더 시스템을 선택해야 하는 이유는 무엇인가?

초고도 진공(UHV)

TONiC UHV 판독 헤드는 표준 TONiC의 뛰어난 성능을 취해 UHV 호환 자재와 프로세스를 사용하여 설계하고 구성한 판독 헤드로 전달하므로 최저 10 -10 Torr로 낮춘 UHV 조건에 적합합니다.
TONiC UHV 엔코더 및 부속품은 진공 호환성 자재와 접착제로 제작되어 낮은 방출 속도와 입증된 청정 잔류 가스 분석(RGA) 성능을 제공하므로 웨이퍼 취급/테스트, 과학 계측기, 분광기, 진공 검사 장비 등의 다양한 분야에 적합합니다.

간편하게 분리되는 스케일

RTLC20/FASTRACK은 운송하기 위해 기계를 해체해야 하거나 수송을 위해 스케일을 장착/분리해야 하는 분야에 이상적입니다. 접근이 제한되는 여건에서도 가이드 레일에서 스케일을 재빨리 빼내고 교체할 수 있기 때문에 기계 가동 중단 시간이 단축됩니다.

소형 크기로 최상의 신뢰성과 성능 구현

최고의 신뢰도와 일관된 성능을 제공하기 위해 훨씬 낮은 노이즈(지터)에 맞게 조정되고 자동 게인 컨트롤 및 자동 오프셋 컨트롤을 포함한 동적 신호 처리로 더욱 향상된 3세대 필터링 옵틱을 TONiC 판독 헤드에 통합하였습니다. 모두 판독 헤드 내부에 통합된 이러한 조합을 통해 순도 최상의 신호와 ±30 nm에 불과한 극히 낮은 보간 오차(SDE)를 지원합니다. 결과적으로 더욱 원활한 속도 제어를 통한 스캐닝 성능 향상과 위치 안전성 개선이 실현되므로 진공 내부에 있는 모터에 열이 축적되는 것을 최소화할 수 있습니다. 이는 초소형 판독 헤드 하나에 모두 내장되는 진공 분야에서 필수적인 변수들입니다.

더욱 빠르고 간편한 설치

판독 헤드의 셋업 LED를 통해 신호 세기가 표시되며, 기계 내부에 판독 헤드가 은폐될 때 진단 키트 옵션으로 시스템 성능을 원격으로 확인할 수 있습니다. 레퍼런스 마크와 증분 신호의 캘리브레이션은 기계적 조정이나 추가적인 진단 도구 없이 누름식 버튼으로 해결됩니다. 간편한 조정과 크기 축소를 위해 증분형 스케일에 IN-TRAC 고객 선택형 옵티컬 레퍼런스 마크를 삽입하였습니다. 그 결과 전체 작동 온도와 속도 범위에서 양방향 반복정도가 단위 분해능 수준인 레퍼런스 마크가 생성됩니다.

인터페이스 옵션

TD(이중 분해능) 인터페이스

  • 선택 가능한 이중 분해능 직각 위상 출력. Ti 인터페이스(사각형)
  • 매우 미세한 정밀 모션과 결합된 고속 이동이 필요한 분야에 이상적입니다.

DOP(이중 출력) 인터페이스

  • 동시 디지털 직각 위상 및 1 Vpp 신호를 제공합니다.
  • 하나 이상의 작업을 모션 축과 동기화해야 하는 분야에 적합합니다.TONiC DOP(듀얼 출력) 인터페이스

진단 키트 옵션

TONiC™ 진단 키트(소프트웨어 및 하드웨어)

TONiC 진단 소프트웨어는 TONiC 엔코더 설치를 최적화하는 데 사용되며, 신속하고 종합적인 시스템 캘리브레이션을 지원합니다. 이 소프트웨어는 Renishaw에서 부품 번호 A-9411-0011로 구입할 수 있는 TONiC 진단 하드웨어와 함께 사용해야 합니다. 이 하드웨어는 USB 케이블(키트에 포함)을 통해 또는 고객의 전자 제품과 직결 방식으로 PC에 연결할 수 있습니다.

TONiC 진단 키트에 대한 모든 것을 확인해보세요.

기술 사양

측정 표준

FASTRACK RTLC20: 운송 시스템이 제공되는 스테인리스 강철 테이프 스케일

RTLC20-S: 접착식 양면 테이프가 부착된 스테인리스 강철 테이프 스케일로, FASTRACK 가이드 레일 없이도 모재에 직접 장착 가능

판독 헤드 크기(LxWxH)

35 mm x 13.5 mm x 10 mm

스케일 피치

20 μm

열팽창 계수(20 °C에서)

10.1 ±0.2 μm/m/°C

20 °C에서 정확도 등급

±5 μm/m

레퍼런스 마크

IN-TRAC 레퍼런스 마크는 직접 RTLC20/RTLC20-S에 삽입됨

선택된 레퍼런스 마크를 식별하는 데 사용되는 선택기 마그넷

리미트 스위치

이중 또는 단일 리미트(주문 시 선택)

스케일 길이

FASTRACK: 100 mm ~ 25 m

RTLC20/RTLC20-S: 최대 10 m

(요청 시 10 m 이상 제공)

최대 속도

아날로그

디지털

(자세한 내용은 데이터 시트 참조)

-3 dB에서 최대 10 m/s

최대 10 m/s

보간 오차 (SDE)

일반적으로 <±30 nm

동적 신호 제어

자동 게인 컨트롤(AGC) 및 자동 오프셋 컨트롤(AOC)을 포함한 실시간 신호 조정으로 작동 중 성능 최적화

증분 신호

아날로그

디지털


1 Vpp (20 μm 주기)

5 μm ~ 1 nm 범위 분해능

전기 연결

0.5 m, 1 m, 1.5 m, 3 m, 5 m, 10 m 케이블 길이와 소형 커넥터(TONiC 인터페이스에 바로 연결)

전원 공급 장치

5 V ±10%, < 100 mA (아날로그 시스템), < 200 mA (디지털 시스템) (미종단형)

판독 헤드 전력 소비량< 100 mA

진동(작동 시)

최대 100 m/s2 (55 Hz ~ 2000 Hz 조건)

충격(미작동 시)

1000 m/s2, 6 ms, ½ sine

작동 온도(시스템)

0 °C ~ +70 °C

베이크 아웃 온도(비작동 시)

120 °C (판독 헤드 및 스케일에 한함)

방수 규격

판독 헤드: IP20

인터페이스: IP20

케이블 구성

주석 코팅 구리 편복 단일 스크린, FEP 코어 절연

자세한 내용은 데이터 시트를 참조하십시오.