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UHV(초고도 진공) 옵티컬 엔코더

특성

  • 진공 호환성 소재와 접착제로 구성되어 낮은 방출 속도 제공
  • 입증된 청정 RGA
  • 최대 120°C 베이크 아웃(Bake-out) 온도
  • 비접촉식 개방형 옵티컬 시스템을 채택하고 있어 마찰과 마모가 없는 빠르고 안정적인 작동이 가능합니다.
  • 무환기 공간 소거
  • 고정밀 리니어 및 로터리 스케일 계열

공기나 그 밖의 가스가 상당량 존재하여 완제품에 피해를 줄 수 있기 때문에 잔류 압력을 매우 까다로운 수준으로 낮춘 환경에서 가공을 진행해야 하는 산업 공정들이 많습니다. 이러한 공정에 모션 제어가 포함되는 경우, 진공 호환 엔코더 시스템이 필요합니다.

Renishaw의 UHV(초고도 진공) 호환 엔코더 계열에 포함되는 모든 제품은 진공 압력이 10-10 Torr 수준으로 낮은 다양한 과학, 반도체 및 기타 첨단 산업 분야에 적합하도록 설계됩니다. 작동의 기본 원리는 등가 표준 대기 제품과 동일하지만, 다양한 UHV 버전이 무환기 공간을 소거하도록 설계되며, 특별히 청정한 진공 호환 재료와 접착제로 제작됩니다. UHV 환경에서 사용하기 위한 제품의 적합성은 잔류 가스 분석(Residual Gas Analysis, RGA) 스펙트럼 테스트(요청할 경우 실시)를 포함하여 독자적인 전문 테스트 업체에서 심의합니다.

UHV 호환 로고

우수한 성능과 높은 신뢰성을 제공하는 다양한 리니어 및 로터리 스케일과 함께 다양한 버전의 앱솔루트 RESOLUTE™ 및 증분형 TONiC™ 판독 헤드가 제품 계열에 포함됩니다.

UHV 앱솔루트 엔코더

RESOLUTE UHV는 UHV 환경용으로는 최초의 진정한 앱솔루트 옵티컬 엔코더이며, RESOLUTE 계열의 나머지 제품과 작동 원리는 동일합니다. 이 제품은 엔코더에 미세 피치 성능과 폭넓은 직렬 프로토콜을 제공하며 셋업 공차가 넓고 안전 기능이 내장되어 있습니다. RESOLUTE는 스위치를 켜는 즉시 절대 위치를 결정하므로 통제되지 않는 이동을 차단하고 기준 반환 또는 '웨이크 & 셰이크' 루틴 없이 축의 완벽한 통제를 가능하게 합니다. 1 nm 분해능, ±40 nm SDE 및 10 nm 미만 RMS 노이즈 수준의 RESOLUTE로 작업 성능을 대폭 개선할 수 있습니다.

UHV 증분형 엔코더

제품 계열의 증분형 판독 헤드에는 연장된 기계 수명에 걸쳐 확실하고 신뢰할 수 있는 신호 유지를 위한 자동 게인 컨트롤(AGC)과 신호 충실도 향상을 위한 자동 오프셋 컨트롤(AOC)로 구성되는 동적 신호 컨디셔닝이 포함됩니다. AOC와 엔코더의 낮은 위치 노이즈는 직접 구동 시스템에서 속도 리플을 감소시키는 이점도 있고, 그 결과 진공 내부에서 모터에 열 축적을 최소화할 수 있습니다. 접착 테이프 스케일, 스테인리스 강철 및 ZeroMet 스파 옵션을 포함한 선형 측정 표준으로 높은 정확도를 보장합니다. 앵글 엔코더 옵션으로는 로우 프로파일 RESM, ±1 arc sec 이상의 정확도로 설치를 보장하는 초고도 정확도 REXM 링이 있습니다.