XM-60 및 XM-600 다축 캘리브레이터 성능 사양
0 - 4미터 사이
| 리니어 | |
| 측정 정확도 | ±0.5 ppm(환경 보정 적용) |
| 분해능 | 1 nm |
측정 범위 | 0 m ~ 4 m |
앵귤러(피치/편요각) | |
| 정확도 | ±0.004A ±(0.5 μrad +0.11M μrad) (A = 표시된 오차 판독값) (M = 측정 거리, m) |
| 분해능 | 0.03 μrad |
| 측정 범위 | ±500 µrad |
| 직진도 | |
| 측정 정확도 | 일반 범위: ±0.01A ±1 μm 확장 범위: ±0.01A ±1.5 μm (A = 표시된 오차 판독값) |
| 분해능 | 0.25 μm |
| 측정 범위 | 일반 범위: ±50 µm 반경 확장 범위: ±250 µm 반경 |
| 롤 | |
| 정확도 | ±0.01A ±6.3 μrad (A = 표시된 오차 판독값) |
| 분해능 | 0.12 μrad |
| 측정 범위 | ±500 µrad |
정확도 값은 95%(k=2)의 통계 신뢰도로 보고됩니다. 물질 온도 20°C로 판독값 표준화에 따른 오차는 포함되지 않습니다.
4 - 6미터 사이
- 리니어, 앵귤러, 직진도 측정에 대한 성능 사양은 4 m-6 m와 0 m-4 m에서 동일합니다.
- 4 m-6 m 범위의 롤 측정에 대한 성능 사양은 다음과 같습니다.
| 롤 | |
| 정확도 | ±0.01A ±10.0 μrad (A = 롤 오차(µrad)) |
| 분해능 | 0.12 μrad |
| 측정 범위 | ±500 µrad |
정확도 값은 95%(k=2)의 통계 신뢰도로 보고됩니다. 20°C의 물질 온도로 판독값 정규화와 연관된 오차는 포함되지 않습니다. 4 m 범위를 넘어가는 측정값의 경우 XM 발사기와 수신기를 올바르게 정렬해야 합니다. 오정렬이 수신된 레이저 신호 세기를 4% 미만으로 떨어뜨리는 경우, CARTO 소프트웨어가 사용자에게 더 나은 정렬이 필요하다고 알립니다.
6미터 초과
- 리니어 및 앵귤러 측정에 대한 성능 사양은 6 m-8 m와 0 m-4 m에서 동일합니다.
- 6 m-8 m 직진도 측정에 대한 성능 사양은 아직 검증되지 않았습니다.
- 6 m-8 m 롤 측정에 대한 성능 사양은 아직 검증되지 않았습니다.
정확도 값은 95%(k=2)의 통계 신뢰도로 보고됩니다. 20°C의 물질 온도로 판독값 정규화와 연관된 오차는 포함되지 않습니다. 4 m 범위를 넘어가는 측정값의 경우 XM 발사기와 수신기를 올바르게 정렬해야 합니다. 오정렬이 수신된 레이저 신호 세기를 4% 미만으로 떨어뜨리는 경우, CARTO 소프트웨어가 사용자에게 더 나은 정렬이 필요하다고 알립니다.