inLux™ SEM 라만 인터페이스
현장 SEM 라만 분석을 위한 범용 솔루션
혁신적인 inLux™ SEM 라만 인터페이스는 SEM 챔버의 고품질 라만 기능을 제공합니다. 이제 SEM에서 동시에 영상을 촬영하는 동안 2D 및 3D로 이미지를 생성할 수 있는 라만 스펙트럼을 수집할 수 있습니다. 샘플은 SEM 이미지와 라만 데이터 수집 모드 간에 정적으로 유지되므로, 라만 이미지와 SEM 이미지 비교 시 정밀한 공동 위치라는 확신을 가질 수 있습니다.
inLux 인터페이스는 종합적인 라만 기능을 제공합니다. 단일 지점 또는 여러 지점의 스펙트럼을 수집하거나 2D 및 3D 칸포칼 라만 이미지를 생성할 수 있습니다. inLux 인터페이스는 이 모든 작업에 사용할 수 있도록 기본으로 장착되어 제공되므로 각 축에서 0.5 mm보다 큰 영역을 분석할 수 있습니다. 50 nm까지 완전히 밀폐된 위치 제어가 가능하므로 정밀한 라만 이미지가 보장됩니다.
주요 특징
- 풍부한 정보 - SEM 이미지를 사용해서 라만, 광 루미네선스(PL) 및 스펙트럼 음극선 루미네선스(CL) 분석이 동일 위치에서 동시에 수행됩니다.
- 범용 - inLux 인터페이스는 SEM 수정 없이 여러 챔버 크기를 갖는 여러 제조업체의 다양한 SEM에 장착할 수 있습니다.
- 비침습 - inLux 프로브는 한 번의 클릭으로 완전히 후퇴가 가능합니다. 따라서 사용하고 있지 않을 때 프로브가 다른 SEM 기능이나 워크플로를 간섭하지 않습니다.
- 분포 결정 - 기본적으로 칸포칼 라만 이미지를 생성할 수 있으므로, 샘플 이질성을 쉽게 측정할 수 있습니다.
- 샘플 보기 - 샘플을 시각화하고 대상 영역을 타게팅하기 위해 큰 영역 광 이미지 및 사진 촬영.
- 구성 가능 - 최대 2개의 다른 여기 레이저 파장과 선택적인 CL 모듈.
- 자동화됨 - 한 번의 클릭으로 까다로운 샘플의 라만 분석을 위한 레이저 파장 전환이 가능합니다.
inLux 인터페이스 응용 분야
오염물 식별
라만 분광기는 비접촉, 비침습 기술로, 매우 구체적인 화학 정보를 제공할 수 있어 오염물 식별에 적합합니다. 라만 분광기는 기초적인 분석으로는 구분하기 어려운 탄소 및 유기 오염물을 분석할 때 특히 그 장점이 두드러집니다. SEM을 사용하여 광학 현미경으로 해결할 수 없는 .작은 오염 입자를 찾아서 조사할 수 있습니다. 그리고 샘플을 옮길 필요 없이 inLux 인터페이스를 사용하여 라만 분석 대상 입자를 직접 타게팅할 수 있습니다.
재료 분석
재료의 다양한 새 속성은 크기, 형상 또는 두께로 인해 발생합니다. 샘플을 시각화하기 위해 스캔 전자 현미경의 높은 배율이 필수적인 예로 그래핀, 나노로드 및 나노튜브가 있습니다. 라만 분석은 재료의 화학적, 구조적 성질을 보여줄 뿐 아니라 물리적 속성에 대한 정보도 제공할 수 있습니다. inLux 인터페이스는 crystallinity, 스트레인 및 전자 속성을 보여주는 라만 이미지를 생성하고 SEM에서 얻은 이미지와 상호 연관시킬 수 있습니다.
다른 Renishaw 라만 시스템에 연결
inLux 인터페이스는 Renishaw의 연구 등급 라만 분광기 및 소프트웨어와 함께 사용됩니다. 따라서 사용법이 간단하고 종합적인 처리 및 분석 기능을 제공할 수 있습니다. 산업용 오염물 식별부터 학술 연구까지, inLux 인터페이스는 SEM 활용도를 높이는 데 도움이 될 수 있습니다.
Virsa™ 라만 분석기
상세한 라만 분석을 위해 Virsa 라만 분석기에 inLux 인터페이스를 연결할 수 있습니다. Virsa 분석기는 연구 등급 라만 시스템에서 예상되는 높은 민감도와 스펙트럼 분해능으로 랙 장착 본체에서 SEM 내 라만 분석을 수행할 수 있는 작고 경제적인 솔루션을 제공합니다.
Virsa 분석기에 대해 자세히 알아보기
inVia™ 공초점 라만 현미경
inLux 인터페이스를 inVia 칸포칼 라만 현미경에 연결하여 SEM 내 분석 기능을 전 세계 최다 판매고를 자랑하는 연구 등급 라만 현미경에 추가하십시오. inVia 현미경은 구성 가능한 레이저 여기 파장, 감지기 및 그레이팅으로 최고의 성능과 감도를 자랑합니다. 라만 활성 재료 분석에 적합합니다. inVia 현미경은 라만 분석을 위해 독립적으로 사용할 수 있습니다. 이 경우, 현장 측정이 필요하지 않으면 다른 사용자가 SEM을 사용할 수 있습니다.
inVia 라만 현미경에 대해 자세히 알아보기다운로드: inLux SEM 라만 인터페이스
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Brochure: inLux™ scanning electron microscope Raman interface [en]
The innovative inLux SEM Raman interface brings high-quality Raman functionality to your SEM chamber. Now you can collect Raman spectra that can produce images in 2D and 3D whilst simultaneously imaging in SEM.
사양
| 매개변수 | 값 |
| 질량 | < 20 kg |
| 광섬유 케이블 길이 | 4.6 m |
| 호환되는 라만 분광계 | Renishaw inVia 칸포칼 라만 현미경, Renishaw Virsa 분석기 |
| 호환되는 SEM 모델 | 모든 주요 SEM 공급업체의 모델과 호환 |
| SEM 포트 요구사항 | 빈 SEM 측면 또는후면 포트 필요 |
| SEM 성능 | inLux 인터페이스는 SEM 수정이 필요하지 않으며, 사용하지 않을 때 완전히 후퇴시킬 수 있어 SEM 성능이나 다른 액세서리의 성능에 방해기 되지 않습니다 |
| 이동 제어 | 트랙패드, WiRE 소프트웨어 |
| 접촉 보호 | 터치 센서, 절대 엔모드를 사용하여 안전한 작동 볼륨 모니터링됨 |
| 레이저 안전 | 챔버 진공에 레이저가 인터로크됨 |
| 라만 매핑/이미징 | 기본 제공 |
| 광섬유 옵틱 선택 | 최대 2개의 다른 레이저 여기 파장 + 선택적인 음극선 루미네선스 모듈 |
| 사용 가능한 레이저 여기 파장 | 405 nm, 532 nm, 660 nm, 785 nm(요청 시 다른 길이 제공) |
| 레이저 스위칭 | 자동화된 모터 구동식, 소프트웨어 제어 방식 |
| 측면 스펙트럼 분해능 | < 1 µm @ 532 nm |
| 칸포칼 성능 | < 6 µm @ 532 nm |
| 스펙트럼 분해능 | 분광기 사양 시트 참조 |
| 치수 | W 804 mm x H 257 mm x D 215 mm |