RESOLUTE™ UHV 앱솔루트 옵티컬 엔코더의 RGA(Residual Gas Analysis, 잔류 가스 분석) 결과
Renishaw는 다양한 RESOLUTE 진공 시스템용 RGA(잔류 가스 분석) 데이터를 제공합니다. 다음은 진공 환경에 엔코더 시스템이 미치는 영향을 보여줍니다.
RGA 결과
테스트 일정
사극자 질량 분석계(AccuQuad 200 RGA)는 RGA(residual gas analysis) 데이터를 수집하는 데 사용됩니다. 챔버 압력은 이온 게이지(G8130)를 사용해서 측정했습니다. 초기 시스템 컨디셔닝 후 테스트 챔버의 총 압력과 함께 배경 스펙트럼이 기록되었습니다.
구성품은 24시간 동안 외기 온도에서 KJL Lion 802 (800/s) 다이오드 이온 펌프 및 Divac 다이어프램 펌프를 사용하여 펌핑한 진공 시스템(0.0035 m3)에 배치했으며, 이후 배경 스캔과 테스트 챔버 총 압력을 다시 기록했습니다. 시스템 압력이 5 x 10-9 mbar보다 우수한 경우, 테스트 시편을 48시간 동안 120 °C에서 베이킹했습니다. 그런 다음 최종 질량 스펙트럼과 총 압력 측정을 수행하기 전에 시스템을 외기 온도까지 식혔습니다. 최종 RGA 스캔이 아래에 나와 있습니다.
주:
RGA 데이터는 진공 시스템의 조건, 사양 및 성능에 따라 결정되므로 이러한 결과의 정확한 재현은 가능하지 않습니다. 하지만 잔류 가스 분석 결과 테스트에 따르면, RESOLUTE UHV로 인한 심각한 오염이 없으며, 이 제품이 있는 환경에서 UHV 조건을 얻을 수 있다는 것을 확인할 수 있습니다.
