RSLM20 리니어 스케일 채용 TONiC™ UHV 증분형 엔코더 시스템
특성
- 판독 헤드 크기: 35 x 13.5 x 10 mm
- 분해능 최저 1 nm
- 속도 최대 10 m/s
- 아날로그 또는 디지털 출력
- 극히 작은 보간 오차(SDE): 일반적으로 ±30 nm 미만
- 옵티컬 IN-TRAC™ 레퍼런스 마크
이점
- 초고도 진공(UHV)
- 고정밀 스파 스케일
- 동적 신호 조정 기능으로 모션 제어력을 향상시킨 극초소형 엔코더
- 까다로운 설치와 시스템 최적화를 지원하는 진단 키트

TONiC UHV란 무엇인가?
TONiC UHV를 채용하면 Renishaw의 초소형 비접촉식 엔코더 시스템을 고객에게 향상된 모션 제어 성능을 제공하는 초고도 진공(UHV) 분야에 적용할 수 있습니다.
TONiC은 리니어 및 로터리 엔코더 분야에서 Ti 인터페이스와 결합했을 때 최고 10 m/s 속도와 최저 1 nm 분해능을 지원합니다. TONiC 시스템은 셋업 공차가 크고 버튼을 누르는 방식의 캘리브레이션을 지원하여 빠르고 간편하게 설치할 수 있습니다. TONiC의 동적 신호 처리 기능이 일반적으로 ±30 nm 미만의 초저 보간 오차로 신호 안정성을 개선하므로 탁월한 모션 제어 성능을 실현할 수 있습니다.
RSLM20 스케일이란 무엇인가?
RSLM20은 20 µm 피치와 다양한 IN-TRAC 옵티컬 레퍼런스 마크 옵션(고객 선택용으로 일정한 간격을 둔 마크, 중앙 또는 끝 근처에 단일 레퍼런스 마크 포함)을 특징으로 하는 스테인리스 강철 스파 스케일입니다.
미세 피치 유리 스케일과 비교되며, 5 m 이상 길이에서 ±4 µm보다 높은 총 정확도(기울기 및 선형성 포함)를 제공합니다. 또한 RSLR은 간단한 보관 및 취급을 위해 감아둘 수 있으며, 풀린 상태에서는 스파 스케일로 사용할 수 있습니다.
시스템 설계자가 장착 요건에 따라 특수 제작된 접착 테이프와 기계식 클립 중에서 선택할 수 있습니다. 두 가지 장착 방식이 모두 모재와 독립적인 열팽창을 허용합니다.
이 엔코더 시스템을 선택해야 하는 이유는 무엇인가?
초고도 진공(UHV)
TONiC UHV 판독 헤드는 표준 TONiC의 뛰어난 성능을 취해 UHV 호환 자재와 프로세스를 사용하여 설계하고 구성한 판독 헤드로 전달하므로 최저 10 -10 Torr로 낮춘 UHV 조건에 적합합니다.
TONiC UHV 엔코더 및 부속품은 진공 호환성 자재와 접착제로 제작되어 낮은 방출 속도와 입증된 청정 잔류 가스 분석(RGA) 성능을 제공하므로 웨이퍼 취급/테스트, 과학 계측기, 분광기, 진공 검사 장비 등의 다양한 분야에 적합합니다.
강력한 안정성과 향상된 정확도 결합
TONiC RSLM20 시스템은 편리성, 강도 및 사용 간편성을 지원하면서도 유리 스케일보다 높은 정확도를 제공하므로 길이가 긴 고성능 축에 이상적입니다.
소형 크기로 최상의 신뢰성과 성능 구현
최고의 신뢰도와 일관된 성능을 제공하기 위해 훨씬 낮은 노이즈(지터)에 맞게 조정되고 자동 게인 컨트롤 및 자동 오프셋 컨트롤을 포함한 동적 신호 처리로 더욱 향상된 3세대 필터링 옵틱을 TONiC 판독 헤드에 통합하였습니다. 모두 판독 헤드 내부에 통합된 이러한 조합을 통해 순도 최상의 신호와 ±30 nm에 불과한 극히 낮은 보간 오차(SDE)를 지원합니다. 결과적으로 더욱 원활한 속도 제어를 통한 스캐닝 성능 향상과 위치 안전성 개선이 실현되므로 진공 내부에 있는 모터에 열이 축적되는 것을 최소화할 수 있습니다. 이는 초소형 판독 헤드 하나에 모두 내장되는 진공 분야에서 필수적인 변수들입니다.
더욱 빠르고 간편한 설치
판독 헤드의 셋업 LED를 통해 신호 세기가 표시되며, 기계 내부에 판독 헤드가 은폐될 때 진단 키트 옵션으로 시스템 성능을 원격으로 확인할 수 있습니다. 레퍼런스 마크와 증분 신호의 캘리브레이션은 기계적 조정이나 추가적인 진단 도구 없이 누름식 버튼으로 해결됩니다. 간편한 조정과 크기 축소를 위해 증분형 스케일에 IN-TRAC 고객 선택형 옵티컬 레퍼런스 마크를 삽입하였습니다. 그 결과 전체 작동 온도와 속도 범위에서 양방향 반복정도가 단위 분해능 수준인 레퍼런스 마크가 생성됩니다.
인터페이스 옵션
TD(이중 분해능) 인터페이스
- 선택 가능한 이중 분해능 직각 위상 출력.
- 매우 미세한 정밀 모션과 결합된 고속 이동이 필요한 분야에 이상적입니다.
DOP(이중 출력) 인터페이스
- 동시 디지털 직각 위상 및 1 Vpp 신호를 제공합니다.
- 하나 이상의 작업을 모션 축과 동기화해야 하는 분야에 적합합니다.
진단 키트 옵션

TONiC 진단 소프트웨어는 TONiC 엔코더 설치를 최적화하는 데 사용되며, 신속하고 종합적인 시스템 캘리브레이션을 지원합니다. 이 소프트웨어는 Renishaw에서 부품 번호 A-9411-0011로 구입할 수 있는 TONiC 진단 하드웨어와 함께 사용해야 합니다. 이 하드웨어는 USB 케이블(키트에 포함)을 통해 또는 고객의 전자 제품과 직결 방식으로 PC에 연결할 수 있습니다.
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기술 사양
측정 표준 | RSLM20: 고정밀 스테인리스 강철 스파 스케일 RSLE20으로서 종단 레퍼런스 마크와 함께, RSLC20으로서 선택형 레퍼런스 마크와 함께 사용 가능 |
판독 헤드 크기(LxWxH) | 35 mm x 13.5 mm x 10 mm |
스케일 피치 | 20 μm |
열팽창 계수(20 °C에서) | 10.1 ±0.2 μm/m/°C |
20 °C에서 정확도 등급 | ±1.5 μm ~ 1 m, ±2.25 μm ~ 2 m, ±3 μm ~ 3 m, ±4 μm ~ 5 m, 국제 표준을 따른 캘리브레이션 |
레퍼런스 마크 | IN-TRAC 레퍼런스 마크 다양한 레퍼런스 마크 위치 옵션(자세한 내용은 데이터 시트 참조) |
리미트 스위치 | 이중 또는 단일 리미트(주문 시 선택) |
스케일 길이 | 80 mm ~ 5 m |
최대 속도 아날로그 디지털 | (자세한 내용은 데이터 시트 참조) -3 dB에서 최대 10 m/s 최대 10 m/s |
보간 오차 (SDE) | 일반적으로 <±30 nm |
동적 신호 제어 | 자동 게인 컨트롤(AGC) 및 자동 오프셋 컨트롤(AOC)을 포함한 실시간 신호 조정으로 작동 중 성능 최적화 |
증분 신호 아날로그 디지털 | 1 Vpp (20 μm 주기) 5 μm ~ 1 nm 범위 분해능 |
전기 연결 | 0.5 m, 1 m, 1.5 m, 3 m, 5 m, 10 m 케이블 길이와 소형 커넥터(TONiC 인터페이스에 바로 연결) |
전원 공급 장치 | 5 V ±10%, < 100 mA (아날로그 시스템), < 200 mA (디지털 시스템) (미종단형) |
판독 헤드 전력 소비량 | < 100 mA |
진동(작동 시) | 최대 100 m/s2 (55 Hz ~ 2 000 Hz 조건) |
충격(미작동 시) | 1000 m/s2, 6 ms, ½ sine |
작동 온도(시스템) | 0 °C ~ +70 °C |
베이크 아웃 온도(비작동 시) | 120 °C (판독 헤드 및 스케일에 한함) |
방수 규격 | 판독 헤드: IP20 인터페이스: IP20 |
케이블 구성 | 주석 코팅 구리 편복 단일 스크린, FEP 코어 절연 |
자세한 내용은 데이터 시트를 참조하십시오.