RSLM20 리니어 스케일 채용 TONiC™ UHV 증분형 엔코더 시스템

특성

판독 헤드 크기: 35 x 13.5 x 10 mm
분해능 최저 1 nm
속도 최대 10 m/s
아날로그 또는 디지털 출력
극히 작은 보간 오차(SDE): 일반적으로 ±30 nm 미만
옵티컬 IN-TRAC™ 레퍼런스 마크

이점

초고도 진공(UHV)
고정밀 스파 스케일
동적 신호 조정 기능으로 모션 제어력을 향상시킨 극초소형 엔코더
까다로운 설치와 시스템 최적화를 지원하는 진단 키트

TONiC UHV란 무엇인가?

TONiC UHV는 Renishaw의 초소형, 비접촉식 엔코더 시스템을 초고진공 분야에 적용한 제품으로, 고객에게 향상된 모션 제어 기능을 제공합니다.

TONiC은 리니어 및 로터리 엔코더 분야에서 Ti 인터페이스와 결합했을 때 최고 10 m/s 속도와 최저 1 nm 분해능을 지원합니다. TONiC 시스템은 셋업 공차가 크고 버튼을 누르는 방식의 캘리브레이션을 지원하여 빠르고 간편하게 설치할 수 있습니다. TONiC의 동적 신호 처리 기능이 일반적으로 ±30 nm 미만의 초저 보간 오차로 신호 안정성을 개선하므로 탁월한 모션 제어 성능을 실현할 수 있습니다.

RSLM20 스케일이란 무엇인가?

RSLM20은 20 µm 피치와 다양한 IN-TRAC 옵티컬 레퍼런스 마크 옵션(고객 선택용으로 일정한 간격을 둔 마크, 중앙 또는 끝 근처에 단일 레퍼런스 마크 포함)을 특징으로 하는 스테인리스 강철 스파 스케일입니다.
미세 피치 유리 스케일과 비교되며, 5 m 이상 길이에서 ±4 µm보다 높은 총 정확도(기울기 및 선형성 포함)를 제공합니다. 또한 RSLR은 간단한 보관 및 취급을 위해 감아둘 수 있으며, 풀린 상태에서는 스파 스케일로 사용할 수 있습니다.
시스템 설계자가 장착 요건에 따라 특수 제작된 접착 테이프와 기계식 클립 중에서 선택할 수 있습니다. 두 가지 장착 방식이 모두 모재와 독립적인 열팽창을 허용합니다.

이 엔코더 시스템을 선택해야 하는 이유는?

초고도 진공(UHV)

TONiC UHV 판독 헤드는 표준 TONiC의 뛰어난 성능을 취해 UHV 호환 자재와 프로세스를 사용하여 설계하고 구성한 판독 헤드로 전달하므로 최저 10 ^-10Torr로 낮춘 UHV 조건에 적합합니다.
TONiC UHV 엔코더 및 부속품은 진공 호환성 자재와 접착제로 제작되어 낮은 방출 속도와 입증된 청정 잔류 가스 분석(RGA) 성능을 제공하므로 웨이퍼 취급/테스트, 과학 계측기, 분광기, 진공 검사 장비 등의 다양한 분야에 적합합니다.

강력한 안정성과 향상된 정확도 결합

TONiC RSLM20 시스템은 편리성, 강도 및 사용 간편성을 지원하면서도 유리 스케일보다 높은 정확도를 제공하므로 길이가 긴 고성능 축에 이상적입니다.

탁월한 계측

TONiC 엔코더는 시장에서 입증된 Renishaw 필터링 옵틱과 개선된 신호 처리 성능을 자랑합니다. 자동 게인 컨트롤(AGC) 기술과 자동 오프셋 컨트롤(AOC) 기술이 판독 헤드 내에서 아날로그 신호 노이즈와 디지털 지터를 감소시킵니다.

TONiC 엔코더는 ±0.5 nm RMS 미만의 극도로 낮은 신호 출력 지터와 ±30 nm 미만의 낮은 보간 오차(SDE)를 제공하므로 리니어 모터 분야에서 위치 정확도를 높이고 발열량을 낮출 수 있습니다. 낮은 지터는 또한 저속으로 작동하는 고정밀 분야에서 속도 제어를 더 원활하게 해줍니다.

유연한 구성

TONiC 시리즈는 해당 분야에 요구되는 속도 및 분해능 수준을 충족하도록 구성할 수 있는 다양한 외부 인터페이스를 제공합니다. 후기 단계에서 하나의 다목적 TONiC 판독 헤드에 외부 인터페이스를 통합 및 구성하는 방식으로 다양한 최종 사용자 맞춤 옵션을 제공합니다.

TONiC 인터페이스 옵션들로 디지털 신호, 아날로그 신호 또는 디지털 및 아날로그 신호의 이중 출력을 활성화할 수 있습니다. TD(이중 분해능) 인터페이스는 선택 가능한 이중 분해능 출력을 제공하고, DPI 인터페이스는 광폭 인쇄 분야에도 사용할 수 있습니다. TONiC 엔코더는 구성에서 유연성이 높아 OEM들이 다양한 분야에서 모션 제어력과 처리량을 향상시킬 수 있습니다.

인터페이스 옵션

TD(이중 분해능) 인터페이스

선택 가능한 이중 분해능 직각 위상 출력.
매우 미세한 정밀 모션과 결합된 고속 이동이 필요한 분야에 이상적입니다.

DOP(이중 출력) 인터페이스

동시 디지털 직각 위상 및 1 Vpp 신호를 제공합니다.
하나 이상의 작업을 모션 축과 동기화해야 하는 분야에 적합합니다.

진단 키트 옵션

TONiC 진단 소프트웨어는 TONiC 엔코더 설치를 최적화하는 데 사용되며, 신속하고 종합적인 시스템 캘리브레이션을 지원합니다. 이 소프트웨어는 Renishaw에서 부품 번호 A-9411-0011로 구입할 수 있는 TONiC 진단 하드웨어와 함께 사용해야 합니다. 이 하드웨어는 USB 케이블(키트에 포함)을 통해 또는 고객의 전자 제품과 직결 방식으로 PC에 연결할 수 있습니다.

TONiC 진단 키트에 대한 모든 것을 확인해보세요.

기술 사양

측정 표준	RSLM20: 고정밀 스테인리스 강철 스파 스케일 RSLE20으로서 종단 레퍼런스 마크와 함께, RSLC20으로서 선택형 레퍼런스 마크와 함께 사용 가능
판독 헤드 크기(LxWxH)	35 mm x 13.5 mm x 10 mm
스케일 피치	20 μm
열팽창 계수(20 °C에서)	10.1 ±0.2 μm/m/°C
20 °C에서 정확도 등급	±1.5 μm ~ 1 m, ±2.25 μm ~ 2 m, ±3 μm ~ 3 m, ±4 μm ~ 5 m, 국제 표준을 따른 캘리브레이션
레퍼런스 마크	IN-TRAC 레퍼런스 마크 다양한 레퍼런스 마크 위치 옵션(자세한 내용은 데이터 시트 참조)
리미트 스위치	이중 또는 단일 리미트(주문 시 선택)
스케일 길이	80 mm ~ 5 m
최대 속도 아날로그 디지털	(자세한 내용은 데이터 시트 참조) -3 dB에서 최대 10 m/s 최대 10 m/s
보간 오차 (SDE)	일반적으로 <±30 nm
동적 신호 제어	자동 게인 컨트롤(AGC) 및 자동 오프셋 컨트롤(AOC)을 포함한 실시간 신호 조정으로 작동 중 성능 최적화
증분 신호 아날로그 디지털	1 Vpp (20 μm 주기) 5 μm ~ 1 nm 범위 분해능
전기 연결	0.5 m, 1 m, 1.5 m, 3 m, 5 m, 10 m 케이블 길이와 소형 커넥터(TONiC 인터페이스에 바로 연결)
전원 공급 장치	5 V ±10%, < 100 mA (아날로그 시스템), < 200 mA (디지털 시스템) (미종단형)
판독 헤드 전력 소비량	< 100 mA
진동(작동 시)	최대 100 m/s²(55 Hz ~ 2 000 Hz 조건)
충격(미작동 시)	1000 m/s², 6 ms, ½ sine
작동 온도(시스템)	0 °C ~ +70 °C
베이크 아웃 온도(비작동 시)	120 °C (판독 헤드 및 스케일에 한함)
방수 규격	판독 헤드: IP20 인터페이스: IP20
케이블 구성	주석 코팅 구리 편복 단일 스크린, FEP 코어 절연

자세한 내용은 데이터 시트를 참조하십시오.