탐색 건너뜀

RLD10 반사경 간섭계

장거리 고속 분야에 적합한 반사경 간섭계

RLD10 검출기 헤드에는 간섭계 옵틱, 독창적인 다채널 프린지 검출 시스템, 레이저 셔터, 통합 빔 유도기가 내장되어 있습니다. 0° 및 90° 버전 RLD10 검출기 헤드를 모두 공급하고 있습니다.

기능 및 이점

  • 다축 솔루션 -단축 및 이중 축 반사경 시스템은 다축 분야에 이상적인 솔루션을 제공합니다.
  • 장거리 및 고속 - 평면 미러 간섭계로는 지원되지 않는 연장된 거리 및 고속 분야에 반사경 간섭계 검출기 헤드를 사용할 수 있습니다.
  • 민감한 환경 - 또한 표준 RLD10 정격 전력(< 2 W) 보다 낮은 전력 소비가 요구되는 분야에 적합한 저전력 버전으로도 사용할 수 있습니다.

사양 

축 이동0 m ~ 4 m
분해능(RLU를 사용한 구성)

아날로그 직각 위상 = λ/2 (316 nm)
디지털 직각 위상 = 20 nm
RPI20 분해능 = 77.2 pm

시스템 비선형 오차*(SDE)

*인터페이스 제외

>70% 신호 세기, 100 mm/sec 이하에서 <±5 nm
>50% 신호 세기, 2 m/sec 이하에서 <±13 nm
최대 속도최대 2 m/sec

4 m를 초과하는 축에 대해서는 최대 60 m 길이 축을 지원하는 HS20 레이저 엔코더 시스템을 참조하십시오.

비진공 분야의 경우, 변동이 심한 환경 조건에서 정확도를 유지하기 위해 어느 정도의 굴절률 보정이 필요합니다. Renishaw는 이러한 변동을 보정하는 RCU10 실시간 직각 위상 보정 시스템을 제공합니다. Renishaw가 제공하는 반사경은 진공 또는 거의 진공에 가까운 환경 분야에 사용하기에는 적합하지 않을 수 있습니다.

RPI20 병렬 인터페이스를 RLE 시스템(평면 미러 구성)에 통합하여 최대 38.6피코미터까지 분해능을 높일 수 있습니다. 디지털 출력을 사용한 분해능 향상을 위해 REE Renishaw 보간자 시리즈는 최대 0.395 nm(평면 미러 구성)의 분해능을 제공할 수 있습니다. 이 인터페이스는 차동 아날로그 1 Vpp 사인/코사인 신호를 받아들이며 병렬 형식 출력을 제공합니다. Renishaw 액세서리에 대한 자세한 내용은 RCU10 보정 시스템레이저 엔코더 인터페이스를 참조하십시오.

제품 정보